[자연과학][test(실험) 리포트] TFT 공정
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작성일 21-06-10 15:13본문
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장비를 이용하여 포통공정과 셀공정에 대해 배우고, 직접 장비를 사용하여 익혀본다.세정기판에 묻어있는 particle 제거
1차 세정 : ultrasonic에 …(To be continued )
순서
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실험결과/기타
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[자연과학][test(실험) 리포트] TFT 공정
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다.
유리 기판 안에는 4개의 패턴이 들어가게 된다된다. 목차
서론본론conclusion 實驗목적
實驗 理論(이론)Auto CAD
Photolithography Process
Cell Process實驗결과 및 고찰
서론
▶ 實驗 목적
Auto CAD 호로그램으로 자신이 직접 디자인한 Mask를 그려본다.
▶ 實驗 理論(이론)
우리가 實驗에서 쓰인 TN N/W mode에 대상으로하여 간단히 說明(설명) 하였다.공정내용기판 cuttingITO가 증착된 유리 기판을 100 by 100의 크기로 자른다.
pedit 명령 : 객체들을 하나로 연결시켜준다.
Trim(자르기) : 겹쳐있는 선들에서 원하는 곳 을 자를 수 있다
explode(분해) : 합쳐져 있는 객체를 분해 시켜준다.
line : 선을 그려주는 명령어
Mask 디자인
→ 상판에는 한 개의 공통전극으로 패턴이 모두 연결되어 있으며, 하판에는 8개의 각 전극에 각 패턴에 연결되어 있다
▶ Photolithography Process
Positive PR : 빛에 노출되었던 부분이 현상과정을 거치면서 제거
Negative PR : 빛에 노출되지 않았던 부분이 현상과정을 거치면서 제거
→ 우리가 實驗에 사용한 PR용액은 Positive PR이다.
Cell 구조
TN LCD 동작 원리
초기 분자 배향배향 상태 變化광투과율 變化표시 소자 응용 외력 (전기장)
TN mode의 advantage : 높은 개구율 및 투과율, 양산 잡음에 둔감
TN mode의 단점 : 잔류 retardation이 존재, 느린 응답속도
본론
▶ Auto CAD
기본 사용
Mirror(대칭) : 대칭축을 따라 mask를 대칭 시켜준다.