반도체 공정이 이해(Si base)
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작성일 20-10-02 13:24본문
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레포트/기타
반도체 기본공정교육을 수료한후
각 공정별 이론(理論) 및 원리, 실습 결과 등을 요약한 資料로서
반도체 공정이 이해(Si base)
반도체 기본공정교육을 수료한후 Si Base 반도체의 전체적인 Device 제작 과정과각 공정별 이론 및 원리, 실습 결과 등을 정리한 자료로서반도체 입문 초보자들에게는 유용한 자료가 될 것입니다.반도체공정의이해(Sibase) , 반도체 공정의 이해(Si base)기타레포트 ,
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반도체 입문 초보자들에게는 유용한 資料가 될 것입니다.
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1. 반도체 Device 제작 과정(Si Base)
2. Oxidation
3. Photo
4. Etch(Dry Etch)
5. Metallization
6. CVD
7. Ion Implantation
1. 반도체 Device 제작 과정(Si Base)
- p-type Si 기판에 산화막을 성장시킨다(Furnace).
※화합물은 CVD공정을 거쳐 산화막을 형성한다.
- Spin Coater를 통해 PR을 도포한다 .
.....
2. Oxidation
- Si Substrate에 dopant를 implant or diffusion 시킬때 보호막
역할 수행
- Device간의 Electricaly Isolation 기능(Field Oxide)
.....
3. Photo
- 반도체 Device 제작 공정은 여러 재질(Oxide, Metal, I…(drop)
Si Base 반도체의 전체적인 Device 제작 과정과
반도체공정이이해(Sibase)
다.